[发明专利]用于升华材料的蒸发装置无效
| 申请号： | 200410032346.6 | 申请日： | 2004-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1641066A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | G·克勒姆;J·赫佐格;H·－G·洛特兹 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强;赵辛 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸发装置，它最好被用在真空涂覆设备中。该蒸发装置包括一个由两部分构成的壳体，即它包括一个槽(3)和一个所属的盖(8)，在盖上设有用于待蒸发材料的流出缝(16)。在槽(3)上，横向分布着多个加热棒(5)，它们从外面被接通且其辐射功率加热了在槽里的待蒸发材料如硫化锌并使其蒸发。该装置的构造比较简单并且容易进行拆卸、清洗和重新组装，如果多个这样的装置串联的话，则该装置也可被用于均匀涂覆很宽的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 升华 材料 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发装置，它尤其用在用于薄膜的真空涂覆设备里，它包括至少一个用于容纳待蒸发材料(4)的槽(3)和一个由辐射加热器构成的加热装置，其特征在于，该辐射加热器被设计成加热棒(5)的形状，它们位于该槽(3)的上方。
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