[发明专利]掺氟石英玻璃制品及其制造方法

摘要

本发明是关于一种掺氟石英玻璃制品及其制造方法，其揭露了一种通过在氟气气氛中烧结正在一加热区内移动的多孔玻璃预制体来制造一种掺氟石英玻璃制品的方法，其中进行的氟气处理是将多孔玻璃预制体在温度为1000℃或以上的加热区内的移动速度设定为L/V为40分钟或更长，其中L为加热器的长度(mm)，V为移动速度(mm/分钟)。加热区的温度可以是玻璃化温度。氟气处理可在温度为1000℃或以上但不进行玻璃化处理的加热区内进行，然后可通过增加加热区的温度进行玻璃化处理。

主权项

1、一种掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其是通过烧结在一加热区内氟气氛下正在移动的一多孔玻璃预制体而制成，其中通过将温度为1000℃或更高的该加热区内的该多孔玻璃预制体的移动速度设定为使L/V等于40分钟或更长进行氟气处理，其中L是加热器的长度(mm)，V是该移动速度(mm/分钟)。