[发明专利]维护机器部件的方法和装置无效
| 申请号： | 200410032686.9 | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1530754A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | P·J·M·范格鲁斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥凌 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种维护机器部件的方法，该机器部件设置在机器(1)的内部空间(11)，其中该内部空间(11)保持第一压力(Pvac)并且通过装载闸(LL)和具有第二压力(Penv)的环境隔离。该方法包括：通过装载闸(LL)将机器部件(32，WT)输送出内部空间(11)，以及通过装载闸(LL)将已维护的机器部件和单独替换的机器部件中的一个输送进内部空间(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 维护 机器 部件 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种对设置在机器(1)内部空间(11)的机器部件进行维护的方法，其中内部空间(11)保持第一压力(Pvac)并且通过装载闸(LL)和具有第二压力(Penv)的环境隔离，其特征在于：-通过装载闸(LL)将机器部件(32，WT)输送出内部空间(11)并且-通过装载闸(LL)将已维护的机器部件和单独替换的机器部件中的一个输送进内部空间(11)。
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