[发明专利]具有一体扩散器框架的化学汽相沉积装置

摘要

本发明提供一种化学汽相淀积装置，其包括：箱体；基座，位于该箱体内，安装玻璃面板；扩散器，将该箱体内部分割成上部空间和下部空间，具有连接上部空间和下部空间的多个喷射孔；气体注入管，通过扩散器的喷射孔，向箱体内注入气体；以及陶瓷结构，安装在箱体和扩散器之间；其中扩散器周边延长到陶瓷结构的部分表面上。

主权项

1.一种化学汽相淀积装置，包括：箱体；基座，位于所述箱体内，安装玻璃面板；扩散器，将所述箱体内部分割成上部空间和下部空间，具有连接所述上部空间和所述下部空间的多个喷射孔；气体注入管，通过所述扩散器的喷射孔向所述箱体内注入气体；以及陶瓷结构，安装在所述箱体和所述扩散器之间；其中所述扩散器周边延长到所述陶瓷结构的部分表面上。