[发明专利]膜形成方法及形成装置、电子装置及其制法、电子机器无效
| 申请号： | 200410032863.3 | 申请日： | 2004-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN1538787A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 今村阳一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/02 | 分类号： | H05B33/02;H05B33/10;H05B33/26;H05B33/12;G09F9/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可有效地使用材料，同时可形成高质量的有机薄膜的膜形成方法、膜形成装置及使用其制造出的电子装置、电子机器。有机薄膜形成装置(10)备有：溶液供给部(11)、气体供给部(12)、软离子化部(13)、离子分开部(14)、偏转部(15)及成膜部(16)。用软离子化部(13)将应成膜的有机材料形成微细的液滴，同时离子化或使其带电后，使其液滴汽化并生成气体状的拟分子离子。而且，在离子分开部(14)中从拟分子离子中分开有机材料拟分子离子。另一方面，利用形成有机薄膜的电子装置基板上预先形成的电路，向该电子装置基板所形成的多个电极提供所定的附着电压，以使有机材料拟分子离子选择性地附着于所定电极上。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 方法 装置 电子 及其 制法 机器 | ||
【主权项】：
1.一种膜形成方法，其特征在于，备有：将材料变换生成为气体状的拟分子离子的步骤；和将已设于基板上的多个电极的电位设定为所定电位，并将上述拟分子离子选择性地附着于上述基板上的步骤。
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