[发明专利]图案形成方法及器件的制造方法、电光学装置和电子仪器

摘要

提供一种使由保管液保管状态下的液滴喷头再动作时，能在不影响液滴喷出动作下洗涤喷头并能形成图案的图案形成方法。本发明的图案形成方法，是通过在基板P上配置功能液的液滴形成膜图案(33)的方法，其中具有：用纯水置换备有能配置液滴(30)的喷头1和能向液滴喷头1供给功能液的管部(40)的通路4的第一置换工序SA1，用能溶解纯水和功能液所含溶剂双方的溶剂置换的第二置换工序SA2，用功能液所含的溶剂置换的第三置换工序SA4，在基板P上形成与膜图案对应的贮存格B的贮存格形成工序，和用液滴喷头1在贮存格B、B之间的沟部34配置液滴(30)的材料配置工序S4。

主权项

1、一种图案的形成方法，是通过在基板上配置功能液的液滴，以形成膜图案的图案形成方法，其特征在于，具有：第一置换工序，其对于包括可以配置所述液滴的液滴喷头和向该液滴喷头供给功能液的管部的通路，用纯水进行置换；第二置换工序，其用溶解所述纯水和所述功能液中所含的溶剂双方的溶剂进行置换；第三置换工序，其用所述功能液中所含的溶剂进行置换；贮存格形成工序，其在所述基板上形成与所述膜图案对应的贮存格；和材料配置工序，其通过所述液滴喷头，在所述贮存格之间的沟部配置所述液滴。