[发明专利]陶瓷材料的涂覆方法和陶瓷膜无效
| 申请号： | 200410033075.6 | 申请日： | 2004-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1535935A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 木岛健;名取荣治 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/628 | 分类号： | C04B35/628;C04B35/462;H01L27/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种陶瓷材料的涂覆方法，通过旋转涂覆在基体上涂覆含有复合氧化物的陶瓷材料而形成涂覆膜，其中包含在规定转数下，使前述的基体旋转的第1旋转工序、在小于前述第1旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第2旋转工序以及在大于前述第2旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第3旋转工序。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷材料 方法 陶瓷膜 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷材料的涂覆方法，通过旋转涂覆在基体上涂覆含有复合氧化物的陶瓷材料而形成涂覆膜，其中，含有在规定转数下，使前述的基体旋转的第1旋转工序、在小于前述第1旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第2旋转工序以及在大于前述第2旋转工序的转数下，使前述基体旋转的第3旋转工序。
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