[发明专利]带电电位的评价方法及评价装置

摘要

本发明提供根据离子发生器所中和的对象被测定物的表面电荷来推测该被测定物上产生的电位差Vh的带电电位的评价方法及评价装置，其使用以下式1将CPM(3)的电位差V_C的测定值换算成HGA的导电图案及载梁间的电位差Vh。[式1]Vh=(dh/εh)·(εc/dc)Vc这里，d_h表示所述HGA的导电图案及载梁间的距离，d_c表示CPM(3)的导电板和所述接地面之间的距离，ε_h表示所述HGA的绝缘衬底层的介电常数，ε_c表示CPM(3)的导电板和接地面之间的介电常数。

主权项

1.一种带电电位的评价方法，其特征是，具有如下步骤：(a)获得具有夹隔电介质而对向的第1导电体及第2导电体的被测定物的所述电介质的介电常数的值及所述一对电介质之间的距离的步骤、(b)在特定的气氛下，测定与接地面相隔特定距离而相对的导电板的电位VC的步骤、(c)使用以下的式1，对所述气氛下的所述被测定物的所述第1电介质及第2电介质间的电位差Vh进行换算的步骤，[式1]$V_h=\frac{d_h}{{ϵ}_h}·\frac{{ϵ}_c}{d_c}{V}_c$ 其中，dh为被测定物的所述第1导电体及第2导电体间的距离，dc 为所述导电板和所述接地面之间的距离，εh为所述被测定物的所述电介质的介电常数，εc为所述导电板和所述接地面之间的介电常数。