[发明专利]灰色调掩模的缺陷校正方法有效

专利信息
申请号: 200410033705.X 申请日: 2004-04-08
公开(公告)号: CN1536439A 公开(公告)日: 2004-10-13
发明(设计)人: 中山宪治 申请(专利权)人: HOYA株式会社
主分类号: G03F1/08 分类号: G03F1/08
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 李辉
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种灰色调掩模的缺陷校正方法。该灰色调掩模具有:灰色调部,是对透光量进行了调整的区域,其目的是通过减少透过该区域的光的透光量可选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚;遮光部和透光部,其特征在于,包括:对在上述灰色调部(3)中发生的缺陷进行校正的工序(图1(3));对上述校正后的灰色调部的图像实施模糊处理,生成转印图像的工序;以及根据上述转印图像评价上述校正后的灰色调部的工序(图1(4)、(4″)。由此,在进行正常图形和所有校正图形的判定的情况下,可容易地对灰色调部在用户的曝光和转印处理中是否发生问题进行判定(检查,保证)和校正。
搜索关键词: 色调 缺陷 校正 方法
【主权项】:
1.一种灰色调掩模的缺陷校正方法,该灰色调掩模具有:灰色调部,是对透光量进行了调整的区域,其目的是通过减少透过该区域的光的透光量,可选择性地改变光致抗蚀膜的膜厚;遮光部;和透光部,其特征在于,包括:对在上述灰色调部中发生的缺陷进行校正的工序;对上述校正后的灰色调部的图像实施模糊处理,生成转印图像的工序;以及根据上述转印图像评价上述校正后的灰色调部的工序。
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