[发明专利]故障解析装置

摘要

提供一种可在台上稳定地载放取样并可使解析视场移动的故障解析技术。在台11上经解析用板2载放取样1。在解析用板2的主面2b设有凹部2c，在该凹部2c的底面2ca设有作为固态浸没透镜起作用的凸部2d。而且，凸部2d未突出出解析用板2的主面2b。独立于取样1，包括具有固态浸没透镜的解析用板2，由此可以使解析视场移动。还由于凸部2d未突出出解析用板2的主面2b，而可以把解析用板2夹在其间在台11上稳定地载放取样1。

主权项

1.一种故障解析装置，包括解析用板，具有放置取样的第1主面和其相反侧的第2主面；故障检测部，具有光学系统，利用所述光学系统来检测在所述取样内发生的故障，其中，在所述解析用板的所述第2主面设置有凹部，在所述凹部的底面设置有不突出出所述第2主面并作为固态浸没透镜起作用的凸部，所述故障检测部从所述解析用板的所述第2主面侧通过所述凸部对所述取样照射光，或者通过所述凸部检测来自所述取样的光。