[发明专利]光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法无效
| 申请号： | 200410035032.1 | 申请日： | 2004-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1690747A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杨笛;余金中;陈少武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/10;G03F7/20;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法，包括如下步骤：选用双面抛光的SOI基片，在SOI基片上沿斜线x1方向划片，将其分割成三部分；对其中的波导区进行端面抛光和氧化处理，将这三部分健合在同一硅片上；利用版图通过一次光刻将光纤定位槽、光斑转换器、和波导器件的图形同时形成在制作步骤一中加工好的衬底上；利用版图在波导区形成双层掩膜；采用低浓度氢氧化四甲基铵和少量过硫酸铵腐蚀出光纤定位槽；以及采用浓度较高氢氧化四甲基铵腐蚀出光斑转换器和光波导器件；利用高精度的步进电机制作光斑转换器，所得到的光斑转换器为水平和垂直楔型渐变的形状，并且楔变长度较长。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 定位 光斑 转换器 波导 器件 一体化 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法，其特征在于，包括如下步骤：a)选用双面抛光的SOI基片，在SOI基片上沿斜线x1方向划片，将其分割成三部分，其中两端的部分用于制作光纤定位槽，中间的制作成波导区，它由光斑转换器和波导器件组成；b)并对波导区进行端面抛光和氧化处理，将这三部分健合在同一硅片上；c)利用版图通过一次光刻将光纤定位槽、光斑转换器、和波导器件的图形同时形成在制作步骤一中加工好的衬底上；d)利用版图在波导区形成双层掩膜，并利用版图先后制作出光斑转换器和波导器件；e)采用低浓度氢氧化四甲基铵＜5wt.％+少量过硫酸铵腐蚀出光纤定位槽；以及采用浓度较高氢氧化四甲基铵＞20wt.％腐蚀出光斑转换器和光波导器件；f)利用高精度的步进电机制作光斑转换器，所得到的光斑转换器为水平和垂直楔型渐变的形状，并且楔变长度较长。
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