[发明专利]用于对物体进行辐射的粒子－光学装置有效
| 申请号： | 200410035221.9 | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1550901A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | A·维斯彻尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种利用粒子束对物体进行辐射的粒子—光学装置。该装置包括一个壳体，在该壳体内设置有定位装置(1)，用于在壳体内对所述物体进行定位。该定位装置(1)包括：基准体(2)，被支撑在所述壳体的一支撑部分上；和运动系统，该运动系统能被操纵，并带有一物体承载台(9)，用于相对于所述基准体(2)以至少一个自由度对保持在该物质承载台上的物体进行操纵，该装置还包括控制装置和至少一个由压电位置致动器(25)与压电力传感器(35)构成的组合(23、30)，所述致动器与传感器串联设置，由此所述控制装置依赖于来自至少一个传感器的至少一个输入信号为至少与所述传感器相关联的致动器产生一个控制信号，其特征在于：所述至少一个组合中串联设置的致动器与传感器被设置在所述壳体与基准体之间，所述基准体经由所述至少一个组合支靠在所述壳体的支撑部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 进行 辐射 粒子 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种利用粒子束对物体进行辐射的粒子—光学装置，其包括一个壳体，在该壳体内设置有定位装置，用于在壳体内对所述物体进行定位，该定位装置包括：基准体，被承载在所述壳体的一支撑部分上；和运动系统，该运动系统能被操纵，并带有物体承载台，用于相对于所述基准体以至少一个自由度对保持在该物体承载台上的物体进行操纵，该装置还包括控制装置和至少一个由压电位置致动器与压电力传感器构成的组合，所述致动器与传感器串联设置，由此所述控制装置依赖于来自至少一个传感器的至少一个输入信号为至少与所述传感器相关联的致动器产生一个控制信号，其特征在于：所述至少一个组合中串联设置的致动器与传感器被设置在所述壳体与基准体之间，所述基准体经由所述至少一个组合支靠在所述壳体的支撑部分上。
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