[发明专利]蒸发装置

摘要

一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置，其具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22)，且在线材(22)及电热器(12)之间，沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用，以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。

主权项

1.一种蒸发装置，具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚；覆盖上述长形坩埚的上部开放部，且通过通电而发热，以对上述长形坩埚内的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热器；以及将该电热器朝上述长形坩埚按压并予以固定的固定构件，且在上述固定构件与上述电热器之间，沿上述长形坩埚的长度方向配置有角材，该角材具有可与上述长形坩埚的上面侧部及侧面上部配合的面部，且上述固定构件的按压力系通过上述角材而作用于上述电热器，以使上述电热器密接于上述长形坩埚。