[发明专利]蒸发装置无效
| 申请号： | 200410038120.7 | 申请日： | 2004-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1550571A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 加藤晴三;岩濑博俊;落合真世;远藤铁郎 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;王刚 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种蒸发装置，可沿着长边方向释出均一的蒸镀物。是以电热加热器(12)覆盖用以收容蒸发材料的长尺坩埚(10)，并在此进行通电使坩埚(10)内部加热，接着，为了对该电热加热器(12)通电，乃设置使电热加热器(12)端部与电极(26)形成电性连接的连接板(28)，并以电阻值相异的多个金属板构成该连接板(28)。借此，有助于将连接板(28)的电阻值调整到适当的程度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发装置，包含：上部开放且用以收容蒸发材料的细长型长尺坩埚；覆盖前述长尺坩埚的上部开放部，通过通电发热，加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料，且具备开口使经由加热汽化过的前述蒸发材料得以通过的电热加热器，以及为了对所述电热加热器通电，而用以电性连接电热加热器端部与蒸镀装置电极的连接板，其中，所述连接板是由电阻值相异的金属所形成的多个板材所构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三洋电机株式会社，未经三洋电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410038120.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制造装置和发光装置
- 下一篇：多层膜材料的干法刻蚀方法
- 同类专利
- 专利分类
