[发明专利]表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录媒体

摘要

一种表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录该程序的记录媒体，该表面特性测量机用于测量被测量物的表面，包括以基点为支点可摆动地受到支承、对被测量物表面进行扫描的臂；该表面特性测量机的校正方法包括测量工序、代入工序及校正工序；该测量工序测量在断面形状中含有大致正圆的一部分的校正用规；该代入工序将由上述测量工序获得的检测结果代入到基于圆的式子的评价式子，该圆的式子设校正用规的中心座标为(x_c，z_c)，半径为r；该校正工序根据由代入工序获得的评价式子校正各参数。

主权项

1.一种表面特性测量机的校正方法，该表面特性测量机用于测量被测量物的表面，包括：臂，该臂以基点为支点可摆动地被支承着；测头，该测头设于上述臂的另一端侧，在前端具有测量触头，该测量触头从由于上述摆动由测量触头的前端绘出的圆弧的大致切线方向接触或接近该被测量物；移动装置，该移动装置在上述测量触头接触或接近上述被测量物的表面的状态下使上述臂朝x方向移动；第1检测装置，该第1检测装置检测上述基点的x方向的位移；第2检测装置，该第2检测装置根据上述臂上的点朝向z方向的位移量检测由上述臂的摆动产生的朝向z方向的位移；及修正运算装置，该修正运算装置对上述第1检测装置和上述第2检测装置的检测结果修正由上述摆动引起的偏移量，获得上述被测量物表面的测量数据；其特征在于：包括测量工序、代入工序、及校正工序；该测量工序测量在断面形状中含有大致正圆的一部分的校正用规；该代入工序将由上述测量工序获得的上述第1检测装置和上述第2检测装置的检测结果代入到基于设上述校正用规的中心座标为(xc，zc)、半径为r的圆的式子的评价式子；该校正工序根据由上述代入工序获得的结果校正上述测量触头的前端的z座标相对于上述第2检测装置的检测结果的增益的同时、校正包含于上述偏移量的各参数。