[发明专利]测试衬底的回收方法和装置

摘要

本发明公开了通过从数据库中读取在各个测试衬底上进行的工艺步骤，并从多个为回收各个测试衬底的回收工艺中选择一个回收工艺来回收测试衬底。标识在每个测试衬底上进行的工艺及为每个测试衬底所选择的回收工艺的信息可被存储在测试衬底历史数据库中。将各个测试衬底分类，并置入具有分配给其内的测试衬底的共同回收工艺的组内。每个存放经分类的测试衬底的箱标记有标识信息。标识存放在各个箱中的测试衬底和为这些测试衬底所选择的回收工艺的信息可存储在这些箱的数据库中。回收操作员可从箱中取出经分类的测试衬底，从提供给操作员的数据库中读取分配给每个测试衬底的回收工艺，以在回收各个测试衬底之前核对哪个回收工艺已分配给该测试衬底。

主权项

1.一种回收用于检测半导体制备工具的测试衬底的方法，包括：从多个测试衬底读取多个测试衬底标识数据；以及为每个读取的测试衬底，从数据库中获得已存储的回收工艺标识数据，所述已存储的回收工艺标识数据标识了为回收每个读取的测试衬底而选择的回收工艺。