[发明专利]固化树脂图案的形成方法无效
| 申请号： | 200410038703.X | 申请日： | 2004-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1550893A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 八子由子 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C23F1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭煜;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 固化树脂图案的形成方法，在将含有具有固化性的碱溶性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、光阳离子聚合引发剂(C)的放射线敏感性组合物涂敷在基板上，除去溶剂后通过掩模照射放射线，然后在显影液中进行显影形成规定的树脂图案，向前述的树脂图案上照射放射线，进一步通过热处理进行固化从而形成固化树脂图案的方法中，照射在前述树脂图案上放射线的量为醌二叠氮化合物失活的最小必需量的40～1000％。这样可以形成具有所希望剖面形状的固化树脂图案。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 树脂 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.固化树脂图案的形成方法，在将含有具有固化性的碱溶性树脂(A)、醌二叠氮化合物(B)、光阳离子聚合引发剂(C)的放射线敏感性组合物涂敷在基板上，除去溶剂后通过掩模照射放射线，然后在显影液中进行显影形成规定的树脂图案，向前述的树脂图案上照射放射线，进一步通过热处理进行固化从而形成固化树脂图案的方法中，照射在前述树脂图案上放射线的量为醌二叠氮化合物失活的最小必需量的40～1000％。
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