[发明专利]介质膜构成体和利用该介质膜构成体的压电致动器及油墨喷头无效
申请号: | 200410038765.0 | 申请日: | 2004-02-06 |
公开(公告)号: | CN1530231A | 公开(公告)日: | 2004-09-22 |
发明(设计)人: | 青砥宽;武田宪一;福井哲朗;伊福俊博 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/16;H01L41/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种介质膜构成体,具有基板和在该基板上设置的介质膜,其特征在于,介质膜相对于该基板具有(00l)面取向性,其中,该介质膜由下述式(1)表示,u为大于2的实数:u=(Cc/Ca)×(Wa/Wc)……(1)。在上述式(1)中,Cc是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的计数(在此,1′为Cc最大值时选定的自然数。);Ca是面内X射线衍射测定的介质膜的(h′00)面的峰值的计数(在此h′为Cc最大值时选定的自然数。);Wc是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l′)面的峰值的半值宽度;Wa是面内波动曲线X射线衍谢测定的介质膜的(h′00)面的峰值的半值宽度。) | ||
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【主权项】:
1、一种介质膜构成体,具有基板和设置在该基板上的介质膜,其特征在于:介质膜具有相对于该基板的(00l)面取向性,并且该介质膜由下列式(1)表示,其中u为大于2的实数:u=(Cc/Ca)×(Wa/Wc) ...... (1)在上述式(1)中,Cc是面外X射线衍射测定的介质膜的(00l’)面的峰值的计数,在此,l’为使Cc为最大值时选定的自然数;Ca是面内X射线衍射测定的介质膜的(h’00)面的峰值的计数,在此h’为使Cc为最大值时选定的自然数;Wc是面外波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(00l’)面的峰值的半值宽度;Wa是面内波动曲线X射线衍射测定的介质膜的(h’00)面的峰值的半值宽度。
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