[发明专利]N－羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯类光产酸剂及其合成方法无效
| 申请号： | 200410039318.7 | 申请日： | 2004-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN1648127A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王力元;王文君;张改莲 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C07D471/08 | 分类号： | C07D471/08;//;221∶00;209∶00) |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉 |
| 地址： | 100875北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一类作为光产酸剂的N－羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯及其合成方法。这类光产酸剂的结构中具有N－羟基酰亚胺磺酸酯部分，因而具有光产酸性。本发明的光产酸剂在常用溶剂中具有很好的溶解性。用不含芳环的磺酰氯制得的这一类光产酸剂在193nm处有很好的透明性，适用于ArF(193nm)光刻胶。其另一个特点是具有酸解离基团。其原料易得，合成方法也比较简便。 | ||
| 搜索关键词： | 羟基 马来 海松 亚胺 磺酸酯类光产酸剂 及其 合成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种如下通式(a)所示的N-羟基马来海松酸酰亚胺磺酸酯：其中R1为任选被卤素取代的C1-C6烷基或任选被C1-C6烷基取代的苯基或萘基，R2为C1-C4烷氧基-C1-C4烷基、四氢吡喃基、四氢呋喃基。
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