[发明专利]具有洗边装置的显影机台有效
| 申请号： | 200410039515.9 | 申请日： | 2004-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN1558294A | 公开（公告）日： | 2004-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赖俊谷;吴鸿玮 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有洗边装置的显影机台，利用一输送带，传送玻璃基板浸入位于显影槽内的显影液，以对玻璃基板表面的光阻层进行显影。此显影机台具有一洗边滚轮，设置于输送带的侧边，以接触方式滚动剥除位于玻璃基板上表面边缘处的光阻层。本发明克服了公知技术中存在的缺陷，在旧有的显影机台搭配简单的洗边装置，即可达到洗边的目的，因此，降低了洗边制程所需的成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 装置 显影 机台 | ||
【主权项】：
1、一种具有洗边装置的显影机台，包括：一显影槽，容纳有显影液；一输送带，设置于该显影槽之中，用以传送玻璃基板浸入显影液中，以对该玻璃基板表面的光阻层进行显影；以及一洗边滚轮，设置于该输送带的侧边，并且以接触方式剥除该玻璃基板上表面边缘处的光阻层。
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