[发明专利]可调式自准直仪无效
申请号: | 200410039680.4 | 申请日: | 2004-03-16 |
公开(公告)号: | CN1670473A | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | 柳至崇;林东龙 | 申请(专利权)人: | 明基电通股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 李宗明;杨梧 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种可调式自准直仪,该可调式自准直仪用以量测一待测面状态,包括一基座、一光源、一第一分光镜、一第二分光镜、一光学组件以及一接收器。该光源、该第一分光镜以及该第二分光镜是设置于该基座上。该光学组件是可移动地设置于该基座上,该光源输出一光束经由该第一分光镜至该第二分光镜,并穿透该第二分光镜以形成一第一分光束至该待测面,且该光束经由该第二分光镜形成一第二分光束至该光学组件,并通过该光学组件形成平行于该第一分光束的一量测光束至该待测面。该接收器是用以接收自该待测面反射的该第一分光束与该量测光束的一图像。 | ||
搜索关键词: | 调式 准直仪 | ||
【主权项】:
1.一种可调式自准直仪,该可调式自准直仪用以量测一待测面状态,该可调式自准直仪包括:一基座;一设置于该基座上的光源;一设置于该基座上的第一分光镜;一设置于该基座上的第二分光镜;一可移动地设置于该基座上的光学组件,其中,该光源输出一光束经由该第一分光镜至该第二分光镜,并穿透该第二分光镜以形成一第一分光束至该待测面,且该光束经由该第二分光镜形成一第二分光束至该光学组件,并通过该光学组件形成平行于该第一分光束的一量测光束至该待测面;以及一接收器,该接收器用以接收自该待测面反射的该第一分光束与该量测光束的一图像。
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