[发明专利]相对于支撑台确定衬底位置的方法和装置无效
| 申请号： | 200410039762.9 | 申请日： | 2004-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN1536638A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | S·栗田;E·比尔;E·克尔贝格;M·布吕纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种信号传感系统，包括若干探测器，这些探测器围绕一适合于支撑衬底的台以彼此间隔的关系布置。每个探测器包括一探测部分，该探测部分适合于从一已知开始位置移向被台支撑的衬底的边缘；当衬底被台支撑时，探测衬底的边缘；紧随所述的探测之后产生一探测信号；和紧随所述的探测之后停止向衬底边缘移动。一控制器可以以每个探测部分的已知开始位置为基准且以每个探测部分产生的探测信号为基础确定衬底相对于台的边缘位置。本发明还提供了许多其它方面。 | ||
| 搜索关键词： | 相对于 支撑 确定 衬底 位置 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种适于确定衬底边缘相对于支撑所述衬底的台的位置的信号传感系统，包括：多个探测器，其围绕一适合于支撑衬底的台以彼此间隔的关系布置，其中，每个所述探测器包括一探测部分，该探测部分适合于：从一已知开始位置移向所述衬底的边缘，该衬底被所述台支撑；当所述衬底被所述台支撑时，探测所述衬底的所述边缘；紧随所述的探测之后产生一探测信号；而且紧随所述的探测之后停止向所述衬底的所述边缘移动；和一控制器，该控制器与所述的多个探测器连接，且适于以每个所述探测部分的所述已知开始位置为基准且以每个所述探测部分产生的所述探测信号为基础，确定所述衬底的所述边缘相对于所述台的位置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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