[发明专利]钛酸锶钡薄膜材料及制备方法无效
| 申请号： | 200410041323.1 | 申请日： | 2004-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1718561A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 朱雪斌;刘生满;宋文海;戴建明;孙玉平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | C04B35/624 | 分类号： | C04B35/624;C04B35/465;H01L27/00 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛酸锶钡薄膜材料及制备方法。材料包括金属基片，特别是金属基片上依次覆有Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3种子层和BaXSr1－XTiO3薄膜；方法包括用常规方法获得金属基片，特别是按照Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3的成分比，将醋酸钡、醋酸锶、三氟乙酸、乙酰丙酮和钛酸丁脂先后混合得到种子层前驱胶体，再将该胶体置于金属基片上，经甩膜、热解、退火得到种子层；按照BaXSr1－XTiO3 (0≤X≤1)的成分比，将醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁脂和甲醇先后混合得到钛酸锶钡前驱胶体；再将此前驱胶体置于覆有种子层的金属基片上，经甩膜、热解和退火得到BaXSr1－XTiO3薄膜；重复得到薄膜的步骤，直至获得所需厚度的BaXSr1－XTiO3薄膜，从而制得高度取向的钛酸锶钡薄膜材料。它既适合后续钇钡铜氧薄膜的生长，也可直接应用于动态随机存储器中。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸锶钡 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种钛酸锶钡薄膜材料，包括金属基片，其特征在于所说金属基片上覆有Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3种子层，所说Ba0.2～0.6Sr0.8～0.4TiO3种子层上覆有高度取向的BaXSr1-XTiO3薄膜。
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