[发明专利]探针装置以及其制造方法无效
| 申请号： | 200410042157.7 | 申请日： | 2004-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1542455A | 公开（公告）日： | 2004-11-03 |
| 发明（设计）人： | 杉浦正浩;吉野俊隆;泽田修一 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛青;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种探针装置，包括：柔性基底，其由无机物质制成，并且具有近乎平直的边缘；导电薄膜，其形成于所述基底的表面上，并且具有多个接触部分和导线部分，所述接触部分排列在所述边缘的表面上，并且可以与样品上的电极发生接触，所述导线部分与所述接触部分连接，其中当施加一个力对所述接触部分的表面进行按压时，所述基底在多个接触部分由所述边缘支承的同时与这些接触部分一同弹性变形。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种探针装置，包括：柔性基底，由无机物质制成，并且具有近乎平直的边缘；导电薄膜，形成于所述基底的表面上，并且具有多个接触部分和导线部分，所述接触部分排列在所述边缘的表面上，并且可以与样品上的电极发生接触，所述导线部分与所述接触部分连接，其中，当施加一个力对所述接触部分的表面进行按压时，在所述多个接触部分由所述边缘支承的同时，所述基底与这些接触部分一同弹性变形。
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