[发明专利]探针装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200410042159.6 | 申请日： | 2004-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1550785A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 服部敦夫;泽田修一 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛青;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种探针装置，包括具有基座(20)和多个探针(10)的梳状探针片，每个探针(10)具有宽于突伸基部(14)的端部(12)，该突伸基部(14)通过基座(20)连接于其它突伸基部(14)。通过加宽探针(10)的端部(12)，可以防止探针从试件电极的顶面脱落。进一步地，通过在探针(10)排列方向上使端部(12)不规则，就可以使端部(12)变宽而不用加大探针(10)中心轴线间的间距。因而，排列方向上的相邻探针(10)之间的最小距离可以被缩短，并且不用减小探针(10)的间距，就可以提高探针装置对于具有平行排列的多个细长电极的试件的适用度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种探针装置，包括：具有基座和多个探针的梳状探针片，每个探针具有宽于突伸基部的端部，该突伸基部通过基座连接于其它突伸基部。
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