[发明专利]半导体器件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200410042472.X 申请日: 2004-05-21
公开(公告)号: CN1627522A 公开(公告)日: 2005-06-15
发明(设计)人: 西乡薰;永井孝一 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: H01L27/102 分类号: H01L27/102;H01L27/10;G11C11/22;H01L23/58;H01L23/48;H01L23/52;H01L21/768;H01L21/3205;H01L21/82
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵淑萍
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明公开了一种半导体器件及其制造方法。所述半导体器件包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底之上和上方的电路部分;覆盖所述电路部分的钝化膜;电极焊盘,所述电极焊盘以电极焊盘从所述钝化膜暴露出来的方式被提供在所述电路部分的外部;以及护圈图案,所述护圈图案被提供在所述电极焊盘和所述电路部分之间,以使所述护圈图案基本包围所述电路部分。所述护圈图案从所述半导体衬底的表面延伸到所述钝化膜。
搜索关键词: 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底之上及上方的电路部分;覆盖所述电路部分的钝化膜;电极焊盘,所述电极焊盘以所述电极焊盘从所述钝化膜暴露出来的方式,被提供在所述电路部分的外部;和护圈图案,所述护圈图案被提供在所述电极焊盘和所述电路部分之间,以使得所述护圈图案基本包围所述电路部分,所述护圈图案从所述半导体衬底的表面延伸到所述钝化膜。
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