[发明专利]加速度传感器装置

摘要

公开了一种具有以一个IC芯片形式建造的处理电路的加速度传感器装置，并且集成IC芯片和加速度传感器芯片。加速度传感器装置由如下构成：一个加速度传感器芯片，由弹性支撑臂、一个质量部分和一个厚框架构成；一块调节板，用来限制质量部分的运动；及一个保护壳体。调节板是一个IC芯片，该IC芯片具有用来电气处理来自加速度传感器芯片的探测信号的处理电路，也用作调节板的IC芯片以离开加速度传感器芯片的预定间隙布置在加速度传感器芯片的上部处，并且电气连接到加速度传感器芯片上，及IC芯片和保护壳体彼此电气连接。

主权项

1.一种加速度传感器装置，包括：一个加速度传感器芯片，具有位于该加速度传感器芯片中心的一个质量部分、一个围绕质量部分并离开质量部分一段距离的厚框架、桥接质量部分的上表面和厚框架的上表面的多个弹性支撑臂、及形成在弹性支撑臂的上表面上的应变仪；一块上部调节板，在质量部分的上表面与上部调节板的下表面之间以预定间隙安装以便覆盖加速度传感器芯片的上表面，并且用软膏固定在厚框架的上表面上；及一个保护壳体，包围加速度传感器芯片；其特征在于，上部调节板是一个IC芯片，该IC芯片具有用来处理由应变仪探测的信号的IC电路、和用于上部调节板上的IC电路的终端，加速度传感器芯片具有用于应变仪的、形成在厚框架上的、及由多个第一引线电气连接到在上部调节板上的某些终端上的终端；及保护壳体具有形成在保护壳体上、并由多个第二引线电气连接到在上部调节板上的某些终端上的终端。