[发明专利]一种带有永磁透镜和静电透镜的粒子－光学装置有效
| 申请号： | 200410043413.4 | 申请日： | 2004-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN1590979A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | B·布伊斯塞 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G12B21/10;G12B21/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 粒子－光学装置一般设置磁透镜或静电透镜，以将带电粒子束(1)聚焦到样品(8)。这些装置希望能在不同束能量下使用。但是不希望粒子束的焦点位置(9)会相对样品(8)移动。磁透镜使用永磁材料(6)具有结构紧凑的优点，但一般避免使用永磁材料是因为不容易将透镜的能量调节到符合变化的束能量。本发明显示了通过将设有永磁材料的磁透镜与静电透镜结合，可保持焦点位置(9)的恒定，并使之与粒子束1的粒子能量无关。静电透镜在此示例中是加速透镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 永磁 透镜 静电透镜 粒子 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种粒子-光学装置，包括带有光轴(10)的聚焦机构(11)，可将带电粒子束(1)聚焦到焦点位置(9)，所述聚焦机构(11)包括：磁透镜，可在磁极部(4，5)的帮助下产生聚焦磁场(21)；静电透镜，可产生聚焦电场(20)，其中所述粒子束(1)的能量会变化；因此，所述聚焦电场(20)位于所述聚焦磁透镜(21)和所述聚焦位置(9)之间区域(23)的上游；其特征在于，所述磁透镜设有永磁材料(6)，可产生透镜行为所要求的聚焦磁场(21)；和所述能量变化具有能量增加的形式。
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