[发明专利]真空阴极弧直管过滤器有效
| 申请号： | 200410044010.1 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1632905A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 田修波;杨士勤 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317;H05H1/34;C23C16/513 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 王吉东 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 真空阴极弧直管过滤器，它涉及的是金属等离子体引入材料表面的装置，具体是一种真空阴极弧直管过滤器。它包含真空阴极弧源头(1)、真空室壁(6)，它还包含金属壳体(2)、第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)、金属过滤墙(5)；(5)是开有通孔(5－4)的圆形金属体，(5)左侧的端面(5－1)上设有圆形凸台(5－2)；(1－1)镶嵌在孔(2－1)中，(3)、(4)并列套接在(2)的外壁上，(5)左侧的端面(5－1)连接在(2)的右侧端口(2－2)上，(5)右侧的端面(5－3)连接(6)的入口端(6－1)上，(1)发射等离子体的轴心线、(3)的磁感应轴线、(4)的磁感应轴线与(5－4)的轴心线相重合。本发明能高效滤除等离子体中的金属颗粒，所获等离子体的纯净度高，并具有结构简单、易维护、制造成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 阴极 弧直管 过滤器 | ||
【主权项】：
1.真空阴极弧直管过滤器，它包含真空阴极弧源头(1)、真空室壁(6)，其特征在于它还包含金属壳体(2)、第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)、金属过滤墙(5)；金属过滤墙(5)是开有通孔(5-4)的圆形金属体，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)上设有圆形凸台(5-2)，通孔(5-4)的轴心线、圆形凸台(5-2)的轴心线与端面(5-1)的轴心线相重合；真空阴极弧源头(1)的绝缘部分(1-1)镶嵌在金属壳体(2)左侧端盖上的孔(2-1)中，第一过滤线圈(3)、第二过滤线圈(4)并列套接在金属壳体(2)的外壁上，金属过滤墙(5)左侧的端面(5-1)连接在金属壳体(2)的右侧端口(2-2)上，金属过滤墙(5)右侧的端面(5-3)连接真空室壁(6)的入口端(6-1)上，真空阴极弧源头(1)发射等离子体的轴心线、第一过滤线圈(3)的磁感应轴线、第二过滤线圈(4)的磁感应轴线与金属过滤墙(5)中的通孔(5-4)的轴心线相重合；金属壳体(2)是非导磁金属体。
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