[发明专利]机械装置

摘要

一种机械装置(10)，其特征是，具有相对于主体(12)作直线运动的移动体(14)、以及对在该移动体的运动方向上产生的移动体所具有的固有振动进行控制的主动减振器(16)；该主动减振器具有：设在该移动体上的、对该移动体所具有的一种或两种以上的固有振动之中的、在该移动体的运动方向上现在所产生的固有振动进行检测的传感器(18)；设在该移动体上的、在该移动体的运动方向上产生振动的执行器(20)；以及使该执行器产生相对于该传感器(18)所检测到的固有振动具有反相关系的振动的控制器(22)。

主权项

1.一种机械装置，其特征是，具有：相对于主体作直线运动的移动体、以及对在所说移动体的运动方向上产生的、移动体所具有的固有振动进行控制的主动减振器；所说主动减振器，具有传感器、执行器、以及控制器，所说传感器，设在所说移动体上，对该移动体所具有的一种或两种以上固有振动之中的、在该移动体的运动方向上现在所产生的固有振动进行检测，所说执行器，设在所说移动体上，在该移动体的运动方向上产生振动，所说控制器，使所说执行器产生相对于所说传感器所检测到的固有振动具有反相关系的振动。