[发明专利]具双喷嘴的脆性工件切割设备无效
| 申请号： | 200410045530.4 | 申请日： | 2004-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN1704213A | 公开（公告）日： | 2005-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈杰扶 | 申请（专利权）人： | 宝丽科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B26F3/00 | 分类号： | B26F3/00;B23K26/00;B26D7/08;C03B33/09;B28D1/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 维尔京群*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具双喷嘴的脆性工件切割设备，包含一工作台、一辐射束供应单元、一第一喷嘴及一第二喷嘴。辐射束供应单元提供一辐射束冲击于固定在工作台的脆性工件的一第一表面上的一第一区域中，用以在该区域造成一张应力。第一喷嘴喷出一液体喷流冲击于第一表面上的一第二区域中，用以在该区域造成一压应力。第二喷嘴喷出一气体喷流冲击于第一表面上的一第三区域，用以清洁干燥该第一至第三区域。该张应力与该压应力使脆性工件形成一裂纹，且第二区域位于第一区域与第三区域之间。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 脆性 工件 切割 设备 | ||
【主权项】：
1.一种具双喷嘴的脆性工件切割设备，包含：一工作台，用以将一脆性工件固定于其上；一辐射束供应单元，提供一辐射束冲击于该脆性工件的一第一表面上的一第一区域中，用以在该第一区域造成一张应力；一第一喷嘴，用以喷出一液体喷流冲击于该脆性工件的该第一表面上的一第二区域中，用以在该第二区域造成一压应力；及一第二喷嘴，用以喷出一气体喷流冲击于该脆性工件的该第一表面上的一第三区域，用以清洁干燥该第一区域、该第二区域及该第三区域，其中该张应力与该压应力使该脆性工件形成一裂纹，且该第二区域位于该第一区域与该第三区域之间。
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