[发明专利]具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法有效
| 申请号： | 200410046199.8 | 申请日： | 2004-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1577011A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 徐铉植;金荣柱;金商铉 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;祁建国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于液晶(LCD)显示器的阵列基板的制造方法，包括：在具有显示区和包围显示区的非显示区的基板上形成对准键；对准键上形成非晶硅层；用对准键作基准，结晶非晶硅层的预定部分；用对准键作基准，对非晶硅层进行构图，形成多晶硅层，其中，多晶硅层用非晶硅层的预定部分形成；在半导体层上形成栅绝缘层；用对准键作基准，在栅绝缘层上形成栅极；在栅极上形成隔层绝缘层和在隔层绝缘层上形成源极和漏极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多晶 薄膜晶体管 液晶显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种液晶显示器的阵列基板的制造方法，包括：在具有显示区和非显示区的基板上形成对准键，其中，非显示区包围显示区；在对准键上形成非晶硅层；用对准键作基准，结晶非晶硅层的预定部分；用对准键作基准，对非晶硅层进行构图，形成多晶硅层，其中，多晶硅层用非晶硅层的预定部分形成；在多晶硅层上形成栅绝缘层；用对准键作基准，在栅绝缘层上形成栅极；在栅极上形成隔层绝缘层；和在隔层绝缘层上形成源极和漏极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LG.菲利浦LCD株式会社，未经LG.菲利浦LCD株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410046199.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
