[发明专利]照明器控制的影调反转印刷无效
| 申请号： | 200410047734.1 | 申请日： | 2004-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1542555A | 公开（公告）日： | 2004-11-03 |
| 发明（设计）人： | S·G·汉森;D·J·范登布罗克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种反转将被印刷到形成在基底上的辐射敏感材料层中的图像影调的方法，该方法包括：确定光刻问题；设计图案形成器件；确定能够印刷光刻特征正影调的第一照明排列和辐射敏感材料处理；以及确定用辐射敏感材料处理的能够印刷光刻特征负影调的第二照明排列。 | ||
| 搜索关键词： | 明器 控制 影调 反转 印刷 | ||
【主权项】：
1.一种反转将被印刷到至少部分覆盖基底的辐射敏感材料层中的图像影调的方法，该方法包括确定光刻问题，该问题包括将被印刷的光刻特征；设计图案形成器件；确定能够印刷光刻特征正影调的第一照明排列和辐射敏感材料处理；和确定用辐射敏感材料处理的能够印刷光刻特征负影调的第二照明排列。
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