[发明专利]分压控制系统、流量控制系统以及用于分压控制系统的喷头板有效
| 申请号： | 200410047927.7 | 申请日： | 2004-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1573632A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 长冈秀树;小泉浩;大藪淳;嵨津强;远藤宏纪;伊藤惠贵;林大辅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D16/00 | 分类号： | G05D16/00;G05D7/00;G05D11/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/22 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种分压控制系统，其能够减少作用气体的白白浪费，同时能够提高对设定改变等的响应性能。在分压控制系统(45)中设置：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体的二个阀门(8)；相对各个阀门(8)串联连接，检测作用气体的压力的压力传感器(3)；基于压力传感器(3)的检测结果来按比例控制阀门(8)的操作，由此相对地控制二个阀门(8)的输出压力P1，P2的控制器(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 流量 以及 用于 喷头 | ||
【主权项】：
1.一种分压控制系统，其特征在于，具有：并联设置在作用气体供给管路中，可变地控制作用气体压力的多个压力控制部件；相对各个所述压力控制部件串联连接，检测作用气体的压力的压力检测部件；基于所述压力检测部件的检测结果来按比例控制所述压力控制部件的操作，由此相对地控制所述多个压力控制部件的输出压力的控制部件。
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