[发明专利]糊剂分注器及其控制方法有效
申请号: | 200410048167.1 | 申请日: | 2004-06-21 |
公开(公告)号: | CN1574121A | 公开(公告)日: | 2005-02-02 |
发明(设计)人: | 方圭龙;徐容珪 | 申请(专利权)人: | TOPENGINEERING株式会社 |
主分类号: | H01C17/06 | 分类号: | H01C17/06;H05K3/10;B05C5/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本申请公开了一种糊剂分注器及其控制方法。所述糊剂分注器包括:载台,其上安装有基板;至少一个喷嘴,通过所述喷嘴和所述基板之间的相对运动来将糊剂分注在所述基板上;测量装置,设置在面对所述喷嘴的出口的位置,并直接测量更换喷嘴的位置;以及控制器,其基于所述测量装置测得的数据,根据所述更换喷嘴的位移来换算补偿值。 | ||
搜索关键词: | 糊剂分注器 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种糊剂分注器,包括:载台,其上安装有基板;至少一个喷嘴,通过所述喷嘴和所述基板之间的相对运动而在基板上分注糊剂;测量装置,设置在面对所述喷嘴的出口的位置,并直接测量更换喷嘴的位置;以及控制器,其基于所述测量装置测得的数据,根据所述更换喷嘴的位移来换算补偿值。
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