[发明专利]光学元件安装用基片及其制造方法有效
申请号: | 200410048364.3 | 申请日: | 2004-06-25 |
公开(公告)号: | CN1610196A | 公开(公告)日: | 2005-04-27 |
发明(设计)人: | 明石照久;东山贤史;竹盛英昭;广濑一弘 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;G02B6/42;H01L31/0232 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 熊志诚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种光学元件安装用基片。本发明的目的在于提供一种克服以往的对于频率超过10GHz的信号,难以形成图11的形态结构的光学元件安装用基片。此外,提供一种克服以往的难以得到不容易发生基片翘曲、特别是不容易助长因温度变动引起的基片的翘曲的结构的光学元件安装用基片。本发明的光学元件安装用基片为,具有:硅基片和在上述硅基片上的第一电介质基片与第二电介质基片,在上述第一基片上具有上述激光二极管的设置部、上述配线、上述光电二极管的设置部,在上述硅基片上具有上述透镜或上述光纤的设置部。 | ||
搜索关键词: | 光学 元件 安装 用基片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学元件安装用基片,其特征为,具有:具备透镜或光纤搭载部的第一基片,形成于上述第一基片的一主面上、具备配线层的、电阻率比上述第一基片高的第二基片,其中,上述配线层具备与上述透镜或光纤光学连接的激光二极管的搭载部及与上述激光二极管电连接的连接部。
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