[发明专利]基板处理装置及基板交接位置的调整方法

摘要

一种将基板送入送出对基板进行规定的处理的处理单元的基板输送单元，在预先取得基板对基板保持部的交接位置的数据的情况下，以高精度而且在短时间内进行基板的对位。例如在使基板保持部旋转180度时的前后，分别拍摄由基板输送单元交给了基板保持部的对位用的基板表面上形成的标记的位置，根据该标记的位置数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行了运算后，判断由该单元求得的位置偏移量的有无。然后，在断定了有位置偏移量时，将基板重新放置在基板输送单元上，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致。

主权项

1、一种基板处理装置，备有对水平地保持在绕铅直轴旋转自如的基板保持部上的基板进行规定的处理的处理单元，预先取得由基板输送单元进行的基板对基板保持部的交接位置的数据，基板处理装置的特征在于，备有：拍摄由上述基板输送单元交给了上述基板保持部的对位用的基板的表面上形成的标记用的摄像单元；根据在使上述基板保持部旋转180度时的前后将分别拍摄到的上述标记的位置互相被连结起来的直线定为1/2的位置的数据，对基板的中心与基板保持部的旋转中心的位置偏移量进行运算的单元；判断由该单元求得的位置偏移量的有无的单元；当断定了有位置偏移量时，对基板输送单元重新放置基板，以便基板的中心与基板保持部的旋转中心一致的单元；以及存储基板的中心与基板保持部的旋转中心一致时的基板输送单元的位置数据的存储单元。