[发明专利]一种微机械可调谐光滤波器无效
| 申请号： | 200410050070.4 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1715990A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 侯识华;潭满清;陈良惠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02F1/365;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微机械可调谐光滤波器，其中包括：一铟磷衬底；在铟磷衬底上制备有n型重掺杂的铟磷缓冲层；一下布拉格反射镜制作在铟磷缓冲层的上部，该下布拉格反射镜的宽度小于铟磷缓冲层，且该下布拉格反射镜位于铟磷缓冲层的中间；在该下布拉格反射镜上部的两侧有铟镓砷层，该两侧的铟镓砷层之间为光学厚度为半波长整数倍的空气腔；在该铟镓砷层上有一上布拉格反射镜；在下布拉格反射镜的两端、铟磷缓冲层上制备有N－面电极；在上布拉格反射镜的上表面制备有P－面电极，该P－面电极中间的部分和上布拉格反射镜构成悬臂梁；在减薄和抛光的铟磷衬底背面制备有介质增透膜；在上布拉格反射镜的中心有通光孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 调谐 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种微机械可调谐光滤波器，其特征在于，其中包括：一铟磷衬底；在铟磷衬底上制备有n型重掺杂的铟磷缓冲层；一下布拉格反射镜制作在铟磷缓冲层的上部，该下布拉格反射镜的宽度小于铟磷缓冲层，且该下布拉格反射镜位于铟磷缓冲层的中间；在该下布拉格反射镜上部的两侧有铟镓砷层，该两侧的铟镓砷层之间为光学厚度为半波长整数倍的空气腔；在该铟镓砷层上有一上布拉格反射镜；在下布拉格反射镜的两端、铟磷缓冲层上制备有N-面电极；在上布拉格反射镜的上表面制备有P-面电极，该P-面电极中间的部分和上布拉格反射镜构成悬臂梁；在减薄和抛光的铟磷衬底背面制备有介质增透膜；在上布拉格反射镜的中心有通光孔。
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