[发明专利]一种微纳米结构图案的转印装置及方法有效
| 申请号： | 200410050075.7 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1716091A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王维汉;林家弘;何侑伦;巫震华 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B41M1/06;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微纳米结构图案的转印装置及方法，该装置包括：一载台、一基板、一待转印的可成形材料层、一微纳米结构图形模具及一电磁波源，其中基板设于该载台上，且基板上具有待转印的可成形材料层，微纳米结构图形模具与该载台和该基板相对设置，且该微纳米结构图形模具可对该可成形材料层进行结构转印；该电磁波源可分别或同时提供该基板、该可成形材料层及该微纳米结构图形模具能量，达到加热该可成形材料层并增加其流动性的目的。该装置以电磁波传递的方式，可迅速改变可成形材料层的热能状态，故不需藉由多层堆栈热传导的方式，即可迅速加热可成形材料层并增加其流动性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 图案 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微纳米结构图案的转印装置，其包括：基板，待转印的可成形材料层，微纳米结构图形模具，其与基板和待转印的可成形材料层相对设置，以加压该待转印的可成形材料层，进行微纳米结构图形转印，电磁波源，为增加该可成形材料层流动性提供所需的热能；而其中基板、待转印的可成形材料层及微纳米结构图形模具至少其一为可吸收电磁波源能量的材料。
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