[发明专利]基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法无效
| 申请号： | 200410050540.7 | 申请日： | 2004-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1755345A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | 席宁;董再励;田孝军;刘连庆;焦念东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G01B11/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法。本发明是当扫描探针与样品表面接触时，通过光电传感器采集扫描探针的悬臂梁在受力作用下发生偏转及扭转形变信号，形变信号通过光电传感器输出信号计算模型产生一个与悬臂梁的形变有对应关系的输出信号，得出作用在悬臂梁上力的一个度量，即悬臂梁梁形变在参考坐标系中的变化量；再通过动力学分析方法，实现在纳米操作条件下计算作用扫描探针上的微作用力。本发明建立了宏观世界与微观世界的桥梁，使得在纳米环境下的操作如同在宏观世界中的操作，为进行复杂、灵活的纳米操作及相关技术的发展开辟了新的技术途径。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 扫描 探针 形变 作用力 建模 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于纳米扫描探针形变的微作用力建模方法，其特征在于：当扫描探针与样品表面接触时，通过光电传感器采集扫描探针的悬臂梁在受力作用下发生偏转及扭转形变信号，所述形变信号通过光电传感器输出信号计算模型产生一个与悬臂梁的形变有对应关系的输出信号，得出作用在悬臂梁上力的一个度量，即悬臂梁梁形变在参考坐标系中的变化量；再通过动力学分析方法，实现在纳米操作条件下计算作用扫描探针上的微作用力。
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