[发明专利]纳米金属粉体的制造方法无效
| 申请号： | 200410051103.7 | 申请日： | 2004-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1733395A | 公开（公告）日： | 2006-02-15 |
| 发明（设计）人： | 简扬昌 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/00 | 分类号： | B22F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米金属粉体的制造方法，其利用微影制程技术，形成纳米图案光罩，并蚀刻金属薄膜，以形成与该光罩纳米图案对应的纳米图案，从而获得纳米金属粉体。本发明所提供的纳米金属粉体的制造方法利用可形成纳米图案的微影制程技术，因而能获得尺寸均一可控且分散性好的纳米金属粉体，适合于制造铜、铝、镍等金属粉体。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 金属 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米金属粉体的制造方法，其特征在于该方法包括以下步骤：提供一基底；在基底上沉积一层预定厚度的金属薄膜；在金属薄膜上涂布一光阻层，并通过一具预定纳米图案的光罩对光阻层进行曝光处理；蚀刻金属薄膜，得到与预定纳米图案对应的图案；去除基底及其它残留物，即得金属粉体。
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