[发明专利]一种获得二氧化钛薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410051147.X | 申请日： | 2004-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN1587152A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 闻航;黄琼霖;黄荣芳;余瑜 | 申请（专利权）人： | 深圳市梅雁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C03C17/27 | 分类号： | C03C17/27;C04B41/85 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种获得二氧化钛薄膜的方法，其特征在于先在玻璃或瓷砖表面通过磁控溅射镀膜机沉积一层钛膜，然后将表面沉积了一层钛膜的玻璃或瓷砖，放置于加热炉中，使玻璃或瓷砖表面的钛膜氧化成二氧化钛膜。获得的二氧化钛薄膜牢固地附着在玻璃或瓷砖基底上，而且获得均匀性好的膜层，本发明工艺重复性好，质量控制易，适宜进行工业批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获得 氧化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种获得二氧化钛薄膜的方法，对玻璃或瓷砖表面进行清洗后，干燥，其特征在于：(1)对玻璃或瓷砖表面沉积钛膜；(2)将沉积了钛膜的玻璃或瓷砖加热，使钛膜氧化成二氧化钛膜。
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