[发明专利]一种用于成品脱膜的薄膜及其形成方法无效
| 申请号： | 200410051351.1 | 申请日： | 2004-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1743287A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B40/02 | 分类号： | C03B40/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于成品脱膜的薄膜，其包括类金钢石膜层，膜层中sp2/sp3杂化碳的摩尔比约为0.85～1.0，其高于现有类金钢石膜中sp2/sp3杂化碳的摩尔比。本发明还提供上述薄膜的形成方法。本发明用于成品脱膜的薄膜包括富石墨相碳的类金钢石膜层，在成品脱膜时能产生润滑作用，使成品易于脱膜。而且，该薄膜还具有使用寿命长及硬度高等特点，可广泛应用在各种成型工艺的脱膜制程中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 成品 薄膜 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于成品脱膜的薄膜，包括一类金钢石膜层，其中，所述类金钢石膜层中sp2/sp3杂化碳的摩尔比为0.85～1.0。
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