[发明专利]红外焦平面探测器的铟柱成球方法

摘要

本发明的红外焦平面探测器的铟柱成球方法是采用氩等离子体和含蚁酸气体的氮气流来取代助熔剂的铟柱回熔成球技术。在铟柱回熔过程中，氩等离子体和含蚁酸气体的氮气流是在同一个腔室内完成对铟柱回熔处理的。氩等离子体主要是用于预清洗样品和击碎铟柱表面的氧化层；含蚁酸的氮气流是用以去除铟柱内铟晶粒间界面氧化层以加速铟柱回熔成球过程，并降低铟回熔的温度。这种无助熔剂的铟柱成球技术，避免了助熔剂在回熔后会侵蚀铟柱，提高了红外焦平面探测器的可靠性和延长了其储存寿命。

主权项

1.一种红外焦平面探测器的铟柱成球方法，其特征在于步骤为：A.将制备好的铟柱列阵样品和用于肉眼观测铟柱成球的铟片一起放在真空腔室内的可控温的样品台上，用氩等离子体轰击清洗样品2-3分钟；B.然后对样品和铟片加热，在1-1.5分钟内将其迅速加热到铟的熔点，直到其回熔成球，同时在这一升温和铟柱回熔成球的过程中，往腔室里通入含蚁酸气体的氮气流；C.铟柱回熔成球后，立即停止含蚁酸气体的氮气流入，以流速为2000～2500L/小时的大流量的氮气吹样品和通过样品台的控温装置对样品降温，使样品在10-20秒内迅速降至室温，再将氮气流速降为400～500l/小时，并维持30-40分钟清洗回熔过程中残留的蚁酸气体及反应生成物。