[发明专利]光学八细分双频激光干涉仪无效
| 申请号： | 200410053441.4 | 申请日： | 2004-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1587896A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 程兆谷;高海军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01D5/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学八细分双频激光干涉仪，包括一双频激光器，在该双频激光器的输出光路上设置一偏振分光镜，该偏振分光镜的分光面与双频激光器的输出光路成45°，在该偏振分光镜反射光方向放置一固定的第二角锥棱镜，透射方向是一移动的第一角锥棱镜，在该偏振分光镜的输出光方向、双频激光器的同侧还有一探测器，其特征是在所述的偏振分光镜和探测器之间还设有固定的第三角锥棱镜、第四角锥棱镜和第一反射镜，在双频激光器和偏振分光镜之间的光路上成45°放置一光束转换器和第二反射镜。本发明在相同测试条件下，与现有双频激光干涉仪相比，测试精度提高了八倍。该发明的测试方法具有简便、经济、精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 细分 双频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
1、一种光学八细分双频激光干涉仪，包括一双频激光器(4)，在该激光器(4)的输出光路上设置一偏振分光镜(2)，该偏振分光镜(2)的分光面与激光器(4)的输出光路成45°，在该偏振分光镜(2)反射光方向放置一固定的第二角锥棱镜(5)，透射方向是一移动的第一角锥棱镜(1)，在该偏振分光镜(2)的输出光方向、双频激光器(4)的同侧还有一探测器(3)，其特征是在所述的偏振分光镜(2)和探测器(3)之间设有固定的第三角锥棱镜(7)、第四角锥棱镜(8)和第一反射镜(6)，在双频激光器(4)和偏振分光镜(2)之间的光路上成45°放置一光束转换器(9)和第二反射镜(10)。
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