[发明专利]原子力显微镜的光点跟踪装置无效
| 申请号： | 200410053442.9 | 申请日： | 2004-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN1587981A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 徐文东;杨金涛;吉小明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/20;G12B21/08 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，其构成是：所述的激光杠杆：包括激光器，在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜，该反射镜配有调节装置，在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖，该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点，在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器；一xy向扫描器和固定在该xy向扫描器上的z向扫描器形成所述的组合扫描器件；元器件模块化。本发明具有结构简单，各单元部件易于调整和更换，激光聚焦光点跟踪可靠的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 跟踪 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置，包括激光杠杆和扫描器件，其特征在于：所述的激光杠杆：包括激光器(1)，在激光器(1)出射的平行光束的前进方向上有反射镜(2)，该反射镜(2)配有调节装置，在反射镜(2)反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜(4)和微悬臂针尖(6)，该聚焦透镜(4)的中心和微悬臂针尖(6)的背面顶端同处于光线G的光轴上，且微悬臂针尖(6)的顶端位于聚焦透镜(4)的焦点，在微悬臂针尖(6)的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜(7)和两维可调的四象限光电探测器(8)；一xy向扫描器(3)和固定在该xy向扫描器(3)上的z向扫描器(5)形成所述的组合扫描器件；所述的激光器(1)、反射镜(2)、成像透镜(7)和四象限光电接收器(8)组成一个模块，微悬臂探针(6)和聚焦透镜(4)组成一个模块，z向扫描器(5)和xy向扫描器(3)各为一个模块，把微悬臂探针和聚焦透镜模块固定在z向扫描器模块上，然后把z向扫描器模块和xy向扫描器模块合成一个可在xyz方向扫描针尖的部件。
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