[发明专利]抛光整理器无效
| 申请号： | 200410054225.1 | 申请日： | 2004-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN1743133A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘圣刚;黄文忠 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光整理器，它包括有一本体，而本体底面具有一个容置空间，一个位本体底面上且具有复数个连通内外侧的沟槽的环状抛光板，一个连通至容置空间的气体通道，然后通过将气体注入气体通道至容置空间，然后由沟槽排出以形成一股气旋，从而有效避免使用腐蚀性抛光浆料可能对抛光板造成的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 整理 | ||
【主权项】：
1.一种抛光整理器，其包括有：一个本体，其下端外周缘向外延伸形成一延伸部，而该延伸部的底部凸设一个凸环，该延伸部与该凸环形成一个容置空间；一个环状抛光板，它位于该凸环底面上，且该环状抛光板上设有复数个砥粒，该环状抛光板底面具有复数个连通该环状抛光板内外侧的沟槽；以及一个气体通道，它位于该本体上，用以由该气体通道注入一气体到该容置空间后再由该沟槽排出，以形成气旋。
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