[发明专利]内连线金属层结构的测试方法

摘要

本发明提供了一种内连线金属层结构的测试方法，它可以在常温下，将内连线金属层结构置于一个环境条件下，以此在内连线金属层结构中产生应力迁移现象，并对内连线金属层结构导入一个电源，该内连线金属层结构因电源导入而产生的焦耳效应使内连线金属层结构产生温度变化量及电阻值变化量，根据内连线金属层结构的电阻值变化，以得知内连线金属层结构应力迁移的变化。本发明不仅相比于现有技术可更快测得电阻值的变化量，使操作应力迁移测试作业时间缩短并可节省成本，更具有避免因热迁移效应使孔隙产生的功效，有效地提高了元件的寿命。

主权项

1.一种内连线金属层结构的应力迁移测试方法，其包括下列步骤：提供一个内连线金属层结构；将该内连线金属层结构置于一个环境条件下，以此在该内连线金属层结构中产生一个应力迁移现象；提供一个电源导入该内连线金属层结构；计算出单位时间内将该电源导入该内连线金属层结构的热功率Q及通过该内连线金属层结构的电流I；利用该热功率Q与该电流I的关系得到一个初始电阻值R；该内连线金属层结构因该电源而温度变化，可得到一个温度变化量ΔT；以及利用该温度变化量ΔT得知该内连线金属层结构产生的一个新的电阻值R1，该新电阻值R1与该初始电阻值R并不相同，通过电阻值的变化，可以得知该应力迁移的变化。