[发明专利]包含光敏酸发生物质单体的组合物及用其包被的载体及其应用无效
| 申请号： | 200410054537.2 | 申请日： | 2004-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1609716A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 郑盛旭;徐承柱;朴在钻 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;G03F7/029 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了包含光敏酸发生物质单体和表面活性剂的组合物，以及利用所述的组合物在载体上合成化合物的方法。所述方法包括将具有酸敏保护基的第一种分子层键合至固体载体上；在第一种分子层上包被本发明的光敏酸发生物质单体组合物层；将组合物层曝光然后热处理以从相应于曝光区域的第一种分子去除酸敏保护基；从曝光和未曝光的区域清洗并去除组合物层；并将第二种分子键合至暴露的第一种分子。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 光敏 发生 物质 单体 组合 包被 载体 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种包含光敏酸发生物质单体和非离子性表面活性剂的光敏酸发生物质单体组合物。
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