[发明专利]具有含圆化边缘的电极的静电夹头无效
| 申请号： | 200410054627.1 | 申请日： | 2004-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN1577791A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 罗曼斯瓦麦·卡迪克;麦可雪尼·M·强;库玛·H·亚娜达;诺贝克许·海米得 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/00;B23Q3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种静电夹头，能够降低其周边区域的电场影响。该夹头包括具有顶表面与底表面的平坦的中心部分。在一个实施例中，电极具有由其周围延伸的线圈，该线圈具有基本上圆化的放射状向外接触面。另外的实施例中，电极具有周边拱形部分，该周边拱形部分具有顶端并在平坦的中心部分的顶表面的正向向量与顶端的上表面的正向向量之间具有至少π/8弧度的曲率长度。介电质覆盖电极。该静电夹头用以保持基底处理设备的处理室中的基底。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 含圆化 边缘 电极 静电 夹头 | ||
【主权项】：
1.一种静电夹头，适用于保持处理室中的基底，其特征在于包括：(a)电极，包括：平坦的中心部分，包括顶表面、底表面以及周边；以及下述(i)、(ii)的其中之一：(i)线圈，基本上在电极的周围连续地延伸以及具有基本上圆滑的放射状向外接触面；(ii)周边拱形部分，具有顶端且该顶端具有上表面，该拱形部分在前述中心平坦部分的上表面的法线与顶端上表面的法线之间具有具有至少约π/8弧度的曲率长度；以及(b)介电质，覆盖前述电极。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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